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透射心得
abo 发表于 2008-06-17 16:29:59
今天下午能谱培训,把一些要点记下来,免得自己忘了。
首先要明确的是,透射的能谱结果并不比扫描准确。其优势在于可以做很薄的样品,而对于扫描来说,样品过薄的话,电子入射样品是深度不够,往往基底信号会非常强烈,掩盖住样品信号。这台透射能谱的分辨率为136eV。指示灯绿色才可以使用,否则需要加液氮。
软件用的是EDX-Genesis,操作比较简单。
采集信号之前,在M或者SA放大模式下,对焦,将电子束斑调整到一个硬币大小。
调整倾转角度(这次用的是双倾台,调整α角;单倾台角度在15度左右)。
降低斑束强度(调大spot size),直到CPS计数率超过1000,DT(Dead Time)20%~30%即可。
如果CPS>1000,Amp Time设置为102.4μs;CPS>1500,Amp Time设置为51.2μs。
Clear,然后可以Collect了。
PeakID,自动标峰;不过一般不准确,还是需要手动。
而且图示中只显示α电子峰位。
EPIC,元素周期表,相关元素的能量信息。
HPD,平滑曲线。
Bkg,扣除背底。
做高分辨的一些经验:
最好用双倾台,半插入时连接好信号线缆,在软件界面中选择双倾台,回车确定。
在衍射模式下,如果能找到菊池线最好,这和样品有关,有些样品是出不来菊池线的。
找到菊池线的中心,也就是汇聚点,通过调节x,y,将其移到视野中心,基本上衍射斑点就可以出来了。
移动菊池线的过程中,样品很可能会漂移,这时需要回到普通模式,将束斑打到样品上;重新回到衍射模式,调整菊池线的位置。如此反复,一直将菊池线的中心调节到视野正中。这个时候,打开选区光阑,将光斑位置调到中心样品处,微调一下集聚,衍射图案基本上就能出来。好了,这个时候就可以屏息20秒左右,关灯拍照了。
顺便感叹一下,菊池线简直太漂亮了,有空拍照图放上来。
做完衍射,保持样品位置不变,基本上不用怎么调就可以出高分辨。要注意的是,一般样品在高分辨下会漂移,如果不想换地方的话,只能多等等。也可以即时抓图,不过效果不怎么好。
如果样品没有菊池线,就只能靠自己对材料的了解,凭经验调整电子束的角度,以得到衍射图案。
物镜光阑:挡住一部分电子束,一般用来提高样品的衬度。4光阑最小(光束最小),1和7为空(即物镜光阑不起任何作用)。使用物镜光阑在提高衬度的情况下,会损失部分细节,鱼与熊掌不可兼得。
明场相:通过物镜光阑,挡住外圈电子束,过滤掉外围的衍射斑点,此为明场相。
暗场相:调节物镜光阑,使挡住中心电子束,使之不对称,削弱中心斑点的光强,此为暗场相。暗场相可以用来研究样品的缺陷。
在CCD中的成像,做实时FFT,出来的斑点应该和做衍射时一致。
聚光镜光阑:一般不用。
透射操作常规顺序:
放样品杆,预抽真空3分钟,将样品杆逆时针旋转,卡好,推进去。
开灯丝,待Clomub的压力到20以下,开高压。
自动对焦,对焦优先用高度。
调节相散。
找到要观测的样品区域。
做形貌,衍射,高分辨或者能谱。
在这些过程中,很可能需要重新调节相散。
完毕,退灯丝,关高压。样品台回原位。
抽出样品。
登记,记住底片号。
首先要明确的是,透射的能谱结果并不比扫描准确。其优势在于可以做很薄的样品,而对于扫描来说,样品过薄的话,电子入射样品是深度不够,往往基底信号会非常强烈,掩盖住样品信号。这台透射能谱的分辨率为136eV。指示灯绿色才可以使用,否则需要加液氮。
软件用的是EDX-Genesis,操作比较简单。
采集信号之前,在M或者SA放大模式下,对焦,将电子束斑调整到一个硬币大小。
调整倾转角度(这次用的是双倾台,调整α角;单倾台角度在15度左右)。
降低斑束强度(调大spot size),直到CPS计数率超过1000,DT(Dead Time)20%~30%即可。
如果CPS>1000,Amp Time设置为102.4μs;CPS>1500,Amp Time设置为51.2μs。
Clear,然后可以Collect了。
PeakID,自动标峰;不过一般不准确,还是需要手动。
而且图示中只显示α电子峰位。
EPIC,元素周期表,相关元素的能量信息。
HPD,平滑曲线。
Bkg,扣除背底。
做高分辨的一些经验:
最好用双倾台,半插入时连接好信号线缆,在软件界面中选择双倾台,回车确定。
在衍射模式下,如果能找到菊池线最好,这和样品有关,有些样品是出不来菊池线的。
找到菊池线的中心,也就是汇聚点,通过调节x,y,将其移到视野中心,基本上衍射斑点就可以出来了。
移动菊池线的过程中,样品很可能会漂移,这时需要回到普通模式,将束斑打到样品上;重新回到衍射模式,调整菊池线的位置。如此反复,一直将菊池线的中心调节到视野正中。这个时候,打开选区光阑,将光斑位置调到中心样品处,微调一下集聚,衍射图案基本上就能出来。好了,这个时候就可以屏息20秒左右,关灯拍照了。
顺便感叹一下,菊池线简直太漂亮了,有空拍照图放上来。
做完衍射,保持样品位置不变,基本上不用怎么调就可以出高分辨。要注意的是,一般样品在高分辨下会漂移,如果不想换地方的话,只能多等等。也可以即时抓图,不过效果不怎么好。
如果样品没有菊池线,就只能靠自己对材料的了解,凭经验调整电子束的角度,以得到衍射图案。
物镜光阑:挡住一部分电子束,一般用来提高样品的衬度。4光阑最小(光束最小),1和7为空(即物镜光阑不起任何作用)。使用物镜光阑在提高衬度的情况下,会损失部分细节,鱼与熊掌不可兼得。
明场相:通过物镜光阑,挡住外圈电子束,过滤掉外围的衍射斑点,此为明场相。
暗场相:调节物镜光阑,使挡住中心电子束,使之不对称,削弱中心斑点的光强,此为暗场相。暗场相可以用来研究样品的缺陷。
在CCD中的成像,做实时FFT,出来的斑点应该和做衍射时一致。
聚光镜光阑:一般不用。
透射操作常规顺序:
放样品杆,预抽真空3分钟,将样品杆逆时针旋转,卡好,推进去。
开灯丝,待Clomub的压力到20以下,开高压。
自动对焦,对焦优先用高度。
调节相散。
找到要观测的样品区域。
做形貌,衍射,高分辨或者能谱。
在这些过程中,很可能需要重新调节相散。
完毕,退灯丝,关高压。样品台回原位。
抽出样品。
登记,记住底片号。
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